極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質量追溯與故障排查。此外，自動**保護系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護，確保設備全天候穩(wěn)定運行，減少因故障導致的測量中斷。在一些化學蝕刻工藝中，濕度過高或過低都會影響蝕刻速度和精度，蕞終影響芯片的良品率。北京三坐標測量儀精密溫控

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠實現(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測量數(shù)據(jù)的重復性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設備光學鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導體量測設備提供干凈的環(huán)境，保護昂貴的光學組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設備的特定型號和工藝要求進行非標定制，匹配不同半導體量測設備的精密需求。設備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時實時數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質量分析和故障排查提供堅實依據(jù)。湖北0.002精密溫控控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在